高度な半導体やハイエンドの製造プロセスでは、流体移送システムはプロセスの安定性、製品の歩留まり、操作の安全性を確保する上で重要な役割を果たしています。{0} Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. は、高純度、腐食性、精密に管理された媒体向けに設計された包括的な産業用流体移送ソリューションを提供しています。{4}当社のソリューションは、-ソースの配布から使用場所までの完全な流体経路をカバーしており、要求の厳しいプロセス環境において信頼性、清浄性、長期的なパフォーマンスを保証します。{8}{9}{9}{{10}
流体移送システムにおける業界の課題
高純度および汚染管理
半導体プロセスには、超純度の化学物質と超純水（UPW）が含まれます。{0}微量の金属イオン、粒子、抽出物であっても、デバイスの歩留まりに直接影響を与える可能性があります。従来の工業用流体システムは、高度なプロセスノードの純度要件を満たしていないことがよくあります。
腐食性および複雑なメディア
酸、アルカリ、酸化剤などの多くのプロセスケミカルは、強い腐食特性を示します。流体移送コンポーネントは、長期間の暴露下でも化学的適合性と機械的完全性を維持する必要があります。-
継続的な運用とシステムの信頼性
生産ツールは 24 時間年中無休で稼働します。漏れ、接続障害、または流れの不安定性は、装置のダウンタイム、ウェーハのスクラップ、または安全上のリスクにつながる可能性があります。システムの高い信頼性が不可欠です。
コンパクトな装置設計
最新の半導体装置では、限られたスペース内に高密度の配管レイアウトが必要です。流体システムは、コンパクトな設置、正確な配線、簡単なメンテナンスをサポートする必要があります。
コア技術ソリューション
高純度流体移送ソリューション-
超クリーンなプロセス環境向けに特別に設計されています。{0}
材料の選択
- 高純度の PFA、PTFE、PVDF-
- 金属イオン含有量が低く、抽出物も最小限
内部表面品質
- スムーズな内部流路
- 粒子の付着と化学物質の滞留を軽減
代表的な用途
- ウェットベンチと掃除用具
- 化学物質送達システム
- UPW配電線
腐食に強く-長寿命の設計-
攻撃的な化学環境に耐えるように設計されています。
化学的適合性
HF、H₂SO₄、HCl、H₂O₂、その他の攻撃的な媒体に適しています
構造設計
- 応力{0}}亀裂-に強い形状
- デッド{0}}ゾーン-のない内部チャネル
運用上のメリット
- 耐用年数の延長
- メンテナンス間隔の短縮
- 総所有コストの削減
精密接続とシール技術
連続運転下でも漏れのないパフォーマンスを保証します。{0}
接続方法
- フュージョン-溶接接続
- モジュール式クイック接続継手-
- カスタムインターフェースソリューション
シール性能
- 安定したシール力
- 圧力変動や熱サイクルに対する耐性
利点
- マイクロリーク防止-
- 再現可能なアセンブリ品質
- 頻繁なメンテナンスサイクルのサポート
カスタマイズとエンジニアリングのサポート
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. は、プロジェクトのライフサイクル全体を通じて強力なエンジニアリング サポートを提供します。
- プロセスメディアの互換性評価
- 流体システムの選択と構成のサポート
- 配管レイアウトの最適化
- プロトタイプのテストと検証
- 技術文書とインストールガイド
Jiangsu Miracle Semiconductor Technology Co., Ltd. の産業用流体移送ソリューションは、高度な製造環境に信頼性が高く、クリーンで安定した流体管理を提供します。材料に関する専門知識、精密エンジニアリング、システム レベルの設計を通じて、当社はお客様がより安全な操作、高い歩留まり、長期的なプロセスの安定性を達成できるよう支援します。-